씨엠티엑스 경북 구미 본사 전경 [사진제공=씨엠티엑스]



반도체 공정용 실리콘 부품 전문기업 씨엠티엑스(CMTX)가 미국 반도체 장비업체 램리서치와의 ‘특허무효’ 소송에서 잇따라 승소했다.

특허심판원은 지난 16일 씨엠티엑스가 청구한 램리서치의 ‘무선 주파수 접지 복귀 장치들’ 특허무효 심판에서 ‘청구 성립’ 심결을 내렸다. 해당 특허를 무효로 하고 심판비용은 피청구인인 램리서치가 부담한다는 주문이다.
이번에 특허심판원 심결을 받은 특허는 플라즈마 공정 챔버(방) 내에서 바다이야기하는법 무선 주파수(RF) 전류가 흐르는 경로를 제어해 챔버 벽을 보호하고 이상 방전을 막는 기술에 관한 것이다. 소송의 대상이 된 제품은 ‘한정 링’으로 반도체 식각 공정 장비 내부에 장착되는 실리콘 부품이다. 플라즈마 챔버 내에서 플라즈마를 일정한 공간 안에 가둬 공정의 안정성과 수율을 확보하는 역할을 한다.
램리서치 측은 챔버 내 부품 간의 바다이야기게임2 미세한 갭이 무선 주파수 단락 역할을 해 전류를 흐르게 하는 것이 자사 고유의 기술이라 주장해 왔다. 하지만 특허심판원은 램리서치 특허가 일본의 공개 특허 등 선행기술을 결합해 통상의 기술자가 쉽게 발명할 수 있으므로 진보성이 없다고 판단했다.
앞서 램리서치는 지난 2024년 10월 ‘무선 주파수 접지 복귀 장치들’ 특허 2건을 침해했다 사아다쿨 는 이유로 씨엠티엑스에 특허권 침해 금지·손해배상청구 소송을 제기했다. 씨엠티엑스는 각각의 특허에 대해 특허무효심판 등을 특허심판원에 청구해 대응해 왔다.
특허심판원은 앞서 지난달 30일 이중 한 건에 대해 청구성립 심결을 내린 데 이어, 이번에 또 다른 기술 한 건에 대해서도 청구성립 심결을 내렸다. 램리서치가 씨엠티엑스에 제기한 특허권 쿨사이다릴게임 침해 금지 소송의 근거인 인접 특허 2건에 대해 1심에서 모두 ‘무효’ 판단이 나온 것이다.
특허심판원은 지식재산청 산하 준사법적 행정심판 기관으로 특허 무효·권리범위 분쟁에서 1심을 담당한다. 2심은 특허법원, 3심은 대법원이 맡는다. 특허 침해소송(민사)은 1심 지방법원, 2심 특허법원, 3심 대법원이 맡는다.
씨엠 릴게임손오공 티엑스 관계자는 “이번 심결은 씨엠티엑스 제품이 램리서치의 지식재산권을 침해하지 않았다는 것을 명확히 확인받은 결과”라며 “앞으로도 특허 공세에 적극 대응하는 한편, 실리콘 부품 무한 재생 등 차별화된 기술 개발과 사업화를 통해 글로벌 반도체 소재부품 공급망에서 입지를 강화해 나갈 것”이라고 밝혔다.
한편 램리서치는 지난 2022년 경기도 용인에 코리아테크놀로지센터를 설립한 이후 국내 특허 등록을 급속히 늘려왔다. 2020년 68건에 불과하던 램리서치의 한국내 특허 등록 건수는 2022년 200건을 돌파한데 이어 지난해 344건으로 급증했다.