(Áöµð³ÝÄÚ¸®¾Æ=Àå°æÀ± ±âÀÚ)¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Àü¹®±â¾÷ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ¼öÁÖÇß´Ù°í 26ÀÏ ¹àÇû´Ù.
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀڷκÎÅÍ È¸»çÀÇ ÁÖ·ÂÁ¦Ç°ÀΠDZ(FOUP) Ŭ¸®³Ê(Cleaner) Àåºñ¸¦ ¼öÁÖ ¹Þ¾Æ ³»³â 4¿ù±îÁö ÆòÅÿ¡ À§Ä¡ÇÑ ¶óÀο¡ ³³Ç°Çϱâ·Î Çß´Ù.?
(»çÁø=¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ)
¾Õ¼ ȸ»ç´Â Áö³?8¿ù¿¡´Â SKÇÏÀ̴нº·ÎºÎÅÍ Ãß°¡ ¾ç»ê¹°·®ÀÇ Ç± Ŭ¸®³Ê Àåºñ¸¦ ¼öÁÖ °ø½ÃÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ÃÖ±Ù¿¡´Â OSAT¾÷üÀÎ ¾ÚÄÚÅ×Å©³î·ÎÁöÄÚ¸®¾Æ¿¡
°ÔÀÓ¸ô ±â´É´Ùº¯È Á¦Ç°ÀΠDZ ÀνºÆå¼Ç(Inspection) Àåºñ¸¦ ¼º°øÀûÀ¸·Î ³³Ç°Çϰí, 2°³¿ù µÚ DZ Ŭ¸°°ú ÀνºÆå¼ÇÀÌ °áÇÕµÈ Ç± º¹ÇÕ Àåºñ¸¦ Ãß°¡ ¼öÁÖÇß´Ù.
À±¼®Èñ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ ¿µ¾÷ÃѰý ºÎ»çÀåÀº ¡°±Ý¹ø ¼öÁÖ´Â 2022³â »ï¼ºÀüÀÚ¿ÍÀÇ Ã¹ °Å·¡ ÀÌÈÄ 3³â¸¸¿¡ ÀÌ·ïÁö´Â ¼º°ú¡±¶ó¸ç ¡°±×°£ °í°´ÀÇ ÅõÀÚ ¿¬±â·Î ¼öÁÖ°¡ ¾ø¾úÀ¸³ª, °í°´ÀÇ ±¹»êÈ¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁö
¹Ù´ÙÀ̾߱â´Ù¿î·Îµå ¿Í HBM °æÀï·Â Á¦°í¸¦ À§ÇÑ Àüȯ?ÅõÀÚ°¡ Àç°³µÇ¸é¼ ÀÌ¿¡ µû¸¥ Ãʵµ ¹°·®À¸·Î, ÇâÈÄ Áö¼Ó ¼öÁÖ¸¦ ±â´ëÇÑ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
À± ºÎ»çÀåÀº ÀÌ¾î ¡°Æ¯È÷ °í°´ÀÌ °ú°Å ÅõÀÚ ½Ã ±¹»ê Àåºñ¿Í ¿Ü»ê Àåºñ¸¦ º´ÇàÇØ »ç¿ëÇØ ¿ÔÀ¸³ª, ±Ý¹ø ¼öÁÖ¸¦ ½ÃÀÛÀ¸·Î ¿ì¼± °í°´ ³» ¿Ü»ê ÀåºñÀÇ Á¡À¯À²À» ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌÀÇ Àåºñ·Î ¹Ù²ã³ª°¡¸é¼ °í°´ ³» Á¡À¯À²À» ³ôÀÏ °Í¡±À̶ó°í
¸±°ÔÀÓ¸ô µ¡ºÙ¿´´Ù.
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ ÁÖ·ÂÀ¸·Î, OLED Àåºñ ÆÇ¸Å ¹× ¼ö¼Ò¿¡³ÊÁö EPC »ç¾÷À» ÇÔ²² ¿µÀ§Çϰí ÀÖ´Ù.?¿Ã 2¿ù ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ »óÀåÇÏ¸ç ´ç½Ã ÁÖ·ÂÁ¦Ç°À¸·Î DZ Ŭ¸®³Ê ÀåºñÀÇ ¼ºÀ强°ú ½ÅÁ¦Ç°ÀÎ ¡®SiCN PECVD¡¯ ÀåºñÀÇ ½ÃÀå ÁøÀÔ °¡´É¼ºÀ» Åä´ë·Î ÄÚ½º´Ú ½ÃÀå¿¡ ¼º°øÀûÀ¸·Î »óÀåÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
Áö³ 2023³â
¸±°ÔÀÓÇϴ¹ý 12¿ù SKÇÏÀ̴нº¿¡ µ¥¸ð °ø±ÞÇÑ SiCN PECVD Àåºñ´Â?ǰÁú ½Å·Ú¼º Å×½ºÆ®¿Í ¾ç»ê Å×½ºÆ®¸¦ ÁøÇàÇØ, Å×½ºÆ®¿¡¼ ÁÁÀº °á°ú°¡ ³ª¿È¿¡ µû¶ó Áö³ÁÖ¿¡ ¾ç»ê Àû¿ë ¹× ÆÇ¸Å Àüȯ¿¡ ¼º°øÇÏ¸é¼ ½ÃÀå ÁøÀÔÀ» ¿Ï·áÇß´Ù.
Á¶Ã¢Çö ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ ´ëÇ¥ÀÌ»ç »çÀåÀº ¡°SKÇÏÀ̴нºÀÇ HBM °æÀï·Â °È¸¦ À§ÇÑ ÅõÀÚ°¡ ¿¹Á¤µÇ¾î ÀÖ°í, »ï¼ºÀüÀÚµµ HBM °æÀï·Â Á¦
¿À¼ÇÆÄ¶ó´ÙÀ̽º»çÀÌÆ® °í¸¦ À§ÇÑ ±â¼ú Àüȯ ÅõÀÚ¿Í Áõ¼³ ÅõÀÚ°¡ ¿¹Á¤µÇ¾î ÀÖ´Â µî ¹ÝµµÃ¼ ÅõÀÚ ¾÷ȲÀÌ ¿Ã ÇϹݱ⿡ ÀÌ¾î ³»³â¿¡µµ Áö¼Ó °³¼±µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ë¡±µÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
Á¶ ´ëÇ¥´Â À̾î "ƯÈ÷ DZ Ŭ¸®³Ê Àü¹®¾÷ü·Î¼ ´ç»ç°¡ HBM Àü¿ë DZ Ŭ¸®³Ê Àåºñ¸¦ ÀÛ³â ÃÊ¿¡ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇØ Áö¼Ó ÆÇ¸Å Áß¿¡ ÀÖ¾î, HBM ÅõÀÚ°¡ È®´ëµÇ¸é µÉ¼ö·Ï ´ç»çÀÇ Ç± Ŭ¸®³Ê?ÀåºñÀÇ ¼ö¿ä´Â Áõ°¡µÉ °Í"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
Àå°æÀ± ±âÀÚ(jkyoon@zdnet.co.kr) ±âÀÚ admin@119sh.info